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MEMS器件最常见的四大分类

时间:2019-01-30 13:53:57来源:网络 作者:admin 点击:
MEMS器件体积小,重量轻,耗能低,惯性小,谐振频率高,响应时间短。MEMS系统与一般的机械系统相比,不仅体积缩小,而且在力学原理和运动学原理,材料特性、加工、测量和控

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